对于俄乌战争可能影响半导体制程中使用的原料气体氖气断供,台湾联电发言人刘启东表示,联电虽然有使用来自乌克兰方面的氖气,但是联电始终保持多重来源的供货商,不是只有单一货源,就算乌克兰发生断货情形,联电也能在台湾找到替代货源。
根据研究单位TrendForce报告,惰性气体主要应用于半导体微影制程,该制程线宽需进一步微缩至220纳米以下时,即开始进入DUV(深紫外光)光源准分子雷射世代,以惰性混合气体与卤素分子混合,藉由电子束能量激发产生深紫外光的波长。DUV准分子雷射当中所需要的惰性混合气体就包含氖气,且氖气为混合气体当中的必要气体,难以取代。
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