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现如今具体是以集成电路技术为核心内容的数字信息时代，在集成电路制造的生产过程中会致使大批量的有机污染物、无机污染物等有毒有害气体，这样的话集成电路工业废气应该怎么正确处理，或是说有没有集成电路工业废气的解决方案？集成电路展小编为您详细介绍一下有以下几点：

一、集成电路业内工业废气详细介绍一下

主要来源：在集成电路制程工艺中，会常常用到硫酸、盐酸、显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液，而致使大批量的酸碱和有机废气。

主要成分：有以下这么几种：

有机废气：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；

酸性工业废气：硫酸雾、氯化物、氯气；

碱性工业废气：氨气、氟化物等；

一般来说排气：无害的气体。

具体的危害性：

集成电路制程工艺常常用到化学药剂，如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物，易致使对大气环境的严重污染；

在整机装配工艺生产过程中致使的机械设备噪声和少许粉尘也会致使环境污染问题，这一些严重污染的气体会致使人们慢性或急性中毒。

二、集成电路废气处理方案详细介绍一下

较常用的工业生产废气处理工艺有：酸碱中和法、活性炭吸附法、催化燃烧法、直接的燃烧法、等离子法、吸收法、冷凝法等。

集成电路制造业内因工业废气性质、成份不一样，其废气治理处理方案也有一定的差别，融合工业生产废气处理工艺，集成电路业内废气处理方案具体的有以下这么几种：

1、集成电路酸性废气治理（SEX）方法详细介绍一下

集成电路业内酸性废气处理方法，具体的选用酸碱中和法，借助废气洗涤塔气液交叉接触，碱液喷淋洗涤就可以净化处理酸性工业废气。

2、集成电路碱性废气治理(AEX)方法详细介绍一下

集成电路业内碱性废气处理方法，具体的选用酸碱中和法，借助废气洗涤塔气液交叉接触，酸液喷淋洗涤就可以废气净化碱性工业废气。

3、集成电路有机废气处理(VEX)方法详细介绍一下

集成电路业内有机废气处理方法，一般而言首先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，继续使用直接的燃烧法炉燃烧销毁，废气净化率达到96%以上。

直接的燃烧也称之为直接的火焰燃烧，它们是把工业废气中可燃的有害组分作为燃料直接的烧掉，因而这样的废气处理方法比较适用于集成电路业内有机废气净化可燃有害组分浓度较高的工业废气，或者用以净化处理有害组分燃烧时热值较高的工业废气。

4、集成电路一般排气(GEX)方法详细介绍一下

一般来说排气不需要正确处理，直接的排放就可以。

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